基于工業機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數穩定可控，從而實現超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。